工业上,把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。
气体产品种类繁多,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类。
一般工业气体产销量大,但对纯度要求不高。特种气体产销量虽小,但根据不同的用途,对不同特种气体的纯度或组成、有害杂质允许的含量、产品的包装贮运等都有极其严格的要求,属于高技术,高附加值产品。
通常,可以将特种气体分为三类,即高纯或超高纯气体、标准校正气体和具有特定组成的混合气体。
气体产品作为现代工业重要的基础原料,应用范围十分广泛,在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药医疗等部门,均使用大量的常用气体或特种气体。
电子工业气体所用气体分为单质气体(如氢氧、氮,多元气体(硅烷,、氯化氢和混合气体(硅烷和氢、磷烷和氮)气体纯度的含义是指除基本气体外,剩余结尾杂质。气体纯度的等级有多种,如普通纯、高纯和特纯(超纯)。所谓电子纯是指具体的半导体器件应用而言的。至于说普通纯、高纯和特纯气体是几个“9”,则与具体杂质含量多少有
关。气体纯度表示通常有两类。
对化学家来说,一般用99%、99.9%、99.99%、99.999%、99.9999%、99.99999%、99.999999%等纯度表示。那么其余1%、0.1%、0.01%、0.001%、0.0001%、0.00001%、0.000001%为杂质。
物理学家根据上述几个“9”的说法采用简便的方法,即n个“9”的说法。如上面的纯度可以分别写成2N、3N、4N、5N、6N、7N、8N。如写成4N8或5N5,这时纯度分别为99.998%和99.9995%;如果写成5N85,则纯度为99.99985%。
关于杂质含量有常量、微量和痕量表示,对于低于微量和痕量杂质一般指ppm~ppb级范围。具体的杂质浓度是:lppm=10-4%; 1ppb=10-7%; 1ppt=10-10%。
气体中的杂质分类:气体中的杂质按化学性质分类有氧化性质气体(如氧、二氧化碳、水)、还原性质气体(如氢、一氧化碳)和不活泼性气体或惰性气体(如氮、氩、氦)。如果杂质按形态分,杂质有气态杂质(如氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氢)、液态气体杂质(如水)和固态气体杂质(如颗粒或尘埃)。
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